半导体制程对湿度的要求极为严苛,尤其在清洗后干燥段、封装前制程、惰性气体置换区、湿度敏感物料储放及关键环控区域,只要环境中的水分略有波动,良率就可能受到影响。若仅依赖相对湿度,容易因温度变化产生误判,进而无法掌握干燥是否真正完成。因此,能直接呈现空气中实际水蒸气含量的绝对湿度,便成为更可靠的判断依据。除了半导体之外,生技制药的低湿制程、食品干燥与熟成、化工高温流程、实验室与试验箱,也同样需要精准、稳定且反应快速的温湿度传感器。
THM50X 温湿度传感器可直接量测绝对湿度,并同时提供温度、相对湿度与露点等多项湿度相关参数,让工程师不只看到 %RH,而是能掌握「环境中真正有多少水」。搭配 0.1%RH 极低湿解析度、高温耐受探棒与多参数同步显示,使用者能在更复杂、更严苛的制程条件下仍维持判读精准,确保制程的品质与稳定性。
同时显示温度、相对湿度、绝对湿度、露点等重要工程参数,让工程师不需额外换算即可理解环境条件。透过直接显示绝对湿度,使用者能更清楚地掌握干燥程度与材料吸湿风险;相对湿度则提供温湿平衡的补充资讯,使整体判读更全面。利用同步显示,现场能以更少的时间作出更精准的判断。
AH% = 空气中真正的水气量,以 25°C 饱和值为基准定义也就是在 25°C 的最大含水量当作 100% 对应AH所换算出来的百分比。
| 温度 | 测得实际绝对湿度 | 绝对湿度百分比 |
| 100 °C | 4.6 g/m³ | (4.6 ÷ 23) × 100% = 20% |
| 100 °C | 1.15 g/m³ | AH% = 5%(干燥良好) |
直接量测空气中的绝对湿度,真实呈现干燥段与低湿环境中微小的水分变化。这让工程师能清楚辨识干燥是否达标,有效避免水痕、氧化、材料吸湿等潜在风险,特别适合半导体与生技等对含水量高度敏感的制程。
具备 0.1%RH 的极低湿量测能力,可在接近干燥极限的环境中仍保持稳定输出,使细微的湿度波动不会被忽略。这让工程师能在制程尚未完全达到干燥要求时即时发现异常,避免因水分残留造成后续的品质风险。同时,极低湿解析度也提升了绝对湿度显示的判读精度,让操作人员能以更可靠的资讯进行制程调校,确保敏感制程在低湿条件下维持最佳状态。
具备 NPN/PNP 输出讯号,可将量测状态转换成明确的开关量,直接提供给 PLC、警报器或制程设备的数位输入端使用。透过清楚的讯号判断,设备能在第一时间作出反应,减少因延迟造成的湿度偏差与制程风险,使整体环境调节更即时、更可靠。
具备快速反应与结露后快速回复,即便突然出现高湿冲击,也能在短时间内回到稳定状态,避免因数据中断造成判断延迟,让环境监控更加可靠。
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传感器种类:Capacitive humidity sensor & Pt 100 A级 量测范围:挂壁型:-40°C ... +80°C/分离型:-40°C ... +150°C输出:4 ... 20 mA / 0 ... 10 V / RS-485 / NPN / PNP 精度:±0.1°C±0.002°Cxtactual / ±2%RH 防护等级:IP65 (本体) |
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15921790706(微信同号)