eYc 半导体CVD制程应用 手套箱系统露点量测解决方案

eYc 半导体CVD制程应用 手套箱系统露点量测解决方案

eYc 半导体CVD制程应用 手套箱系统露点量测解决方案

工业领域如半导体CVD、光电、机械、奈米电子等精密制程,对系统设备的高洁净度与高纯度的环境标准十分要求,常见的手套箱系统是大多精密工业会采用的制程系统,其系统包含物理隔绝真空腔体、进气及出气的循环气体净化设备、调节水/氧浓度的干燥装置、和即时控制的显示设备所组成,其严苛的环境条件,能保护实验室环境及物料不受污染,有助于维持及提升精密工业制程的产品良率,例如使用惰性气体的氮气手套箱,可用来处理环境敏感性材料。

《手套箱系统架构》

《手套箱系统架构》


应用说明

精密制程上的手套箱系统,腔体内部的水/氧含量浓度的维持率是关键的技术指标,其中常见的水/氧含量浓度要求为小于1 PPM、3PPM及5PPM,是制程上最为重要的要求条件,其浓度指标是否合乎标准,是直接影响产品良率的关键。所以许多企业会在手套箱系统内部腔体加装露点传送器,以侦测内腔环境的水含量浓度,一般对于sensor的要求为0~1000PPM,能让业主自由设定,以达到无水无氧的高品质稳定的制程环境。
手套箱系统,腔体内部的水/氧含量浓度的关键的技术指标

产品导入优点

eYc THS88 Plus工业级高压露点传送器,使用工业级防结露晶片耐压16 bar,专门设计用于要求严苛的高温低湿应用领域,如半导体、CDA工业干燥系统、压缩空气系统、金属热处理等。 eYc THS88 Plus露点工作范围-80~+60 dp ℃,具备露点转换其它物理量范围功能,例如绝对湿度(体积) 0~50000PPM/V及绝对湿度(重量)0~50000PPM/W,线性精度在±2 dp ℃ (at +25℃) ± (0.02%FS/℃),及温度补偿线性修正功能,使用IP67 M12电气连接座IP65防尘防水保护等级的SUS304或316金属外壳

与业界他牌露点计相比,THS88 Plus只需半小时即能快速到达稳定状态进行量测(如下方反应速度比较图),成功达成即时侦测腔体内部的水/氧含量浓度,在严峻的工业环境仍保持高精确度极佳的长期穏定性

THS88高压露点传送器 升级前V.S.升级后 反应速度比较图

比较基准点 :
测试环境1 : 同样在氧化铝干燥桶环境下进行测试
测试条件2 : 同样都是由20 dp°C往下测试

>> eYc THS88(升级前) : 经过1小时后才到-34.9 dp°C,需再经过大约3小时才可达稳定状况进行量测。

eYc THS88(升级前) 反应速度图


《eYc THS88 Plus高压露点传送器的反应速度图》

>> eYc THS88 Plus(升级版) : 只需半小时即可快速到达稳定状态进行量测,经过1小时后即快速到达-66.9dp°C。 (点击下图即可放大)

eYc THS88 Plus (升级版) 反应速度图


在监控上,标配讯号输出ModBus RTU通讯协定,RS-485通讯介面,以及多种类比输出讯号0-1V/0-5V/1-5V/0-10V/2-10V/0-20mA/4 -20Ma满足广泛需求。在安装上,提供多种规格的连接牙可供选择。

为提升制程上的测量效率及节省成本,提供独家免费专用智慧图控规划软体SMART-UI,具有可调整规划露点范围、及多种物理量选择-露点/霜点/绝对湿度等功能的产品附加价值。

eYc 免费专用智慧图控规划软体SMART-UI

eYc THS88 Plus工业级高压露点传送器,已被许多精密工业应用于手套箱系统制程上,成功帮助企业制程上的水/氧含量浓度的监测,维持及提升产品良率。


产品资讯

eYc THS88 Plus 工业级露点传送器 >> 2018全新升级版,速度更快、更稳定!

eYc THS88 Plus 工业级高压露点传送器


适用工业领域

eYc THS88 Plus 应用领域

化学研究

物理研究

OLED研究

特种焊接

锂电池研发与生产

特种灯研发与生产

催化剂研究与生产

新材料研究与生产

医药行业

核工业技术

半导体CVD制程

精细化工

生物实验与研究

粉末金属

电子行业

 


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